Em oficinas de semicondutores, as guias lineares MGN15 são um dos principais componentes mecânicos e são amplamente utilizadas em vários tipos de equipamentos que exigem posicionamento de alta precisão e movimento linear estável. Esses dispositivos são essenciais para a fabricação, teste, embalagem e outros processos de chips semicondutores. A seguir estão alguns exemplos de equipamentos que podem usar guias lineares MGN15 em oficinas de semicondutores:
Fotolitografia: A fotolitografia é uma etapa fundamental na fabricação de semicondutores. As guias lineares MGN15 garantem o alinhamento preciso entre a máscara e o wafer de silício na máquina de fotolitografia no nível de mícron ou mesmo nanômetro, o que é essencial para formar padrões de circuito precisos.
Equipamentos de inspeção de wafers: incluindo inspeção óptica automática (AOI) e microscópios eletrônicos de varredura (SEM), esses equipamentos usam guias lineares MGN15 para controlar o movimento suave e preciso da sonda ou lente de inspeção para realizar detecção de defeitos de alta resolução na superfície do wafer.
Máquina de gravação: No processo de gravação da fabricação de chips semicondutores, guias lineares MGN15 são usadas para controlar a transferência e o posicionamento precisos do wafer para garantir a uniformidade e a consistência do processo de gravação.
Robôs de manuseio de wafers: Em linhas de produção de semicondutores altamente automatizadas, os robôs de manuseio de wafers usam guias MGN15 para obter transferência precisa e suave de wafers de uma estação de processamento para outra, reduzindo o risco de danos.
Equipamentos de deposição química de vapor (CVD) e deposição física de vapor (PVD): Esses equipamentos são usados em processos de deposição de filme fino. As guias lineares MGN15 garantem o posicionamento preciso dos wafers conforme eles se movem dentro da câmara para controlar a espessura e a uniformidade do filme.
Equipamento de moagem e polimento: Durante o afinamento e achatamento do wafer, as guias lineares MGN15 ajudam a controlar o movimento da cabeça de moagem ou da almofada de polimento para garantir alta precisão e qualidade de superfície durante o processo.
Equipamento de embalagem: Durante a etapa de embalagem do chip, as guias lineares MGN15 são usadas para controlar com precisão etapas como posicionamento do chip e colagem dos fios para garantir alta qualidade e confiabilidade do processo de embalagem.
Máquinas de limpeza: Equipamento de limpeza usado para remover contaminantes da superfície de wafers. Guias lineares MGN15 garantem transferência estável de wafers durante o processo de limpeza para evitar qualquer possível dano físico.
A fabricação de semicondutores tem requisitos ambientais extremamente rigorosos, incluindo ausência de poeira, temperatura e umidade constantes, etc. As guias lineares MGN15, com sua alta precisão, alta estabilidade e baixo atrito, atendem perfeitamente a esses requisitos rigorosos e são componentes de precisão indispensáveis em oficinas de semicondutores.
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